測量范圍

Z軸（縱向）

50mm

X軸（橫向）

100mm(-22系統為200mm)

精度

Z軸指示精度

±(0.8+4H/100)um H:測量高度（mm）

測量分辨率

0.025um

X軸指示精度

±(1+2L/100)um L;測量高度（mm）

測量分辨率

0.1um

直線度精度

1um/100mm

測量方式

Z軸

激光反光分析光尺

X軸

摩爾干涉光尺

記錄

縱倍率

0.01-10,000.000倍（可以為自動）

橫倍率

0.01-10,000.000倍（可以為自動）

速度

立柱上下移動速度（Z軸）

3mm/s

測量速度（X軸）

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s

測量間距

0.1um

測量點數

100.000點（10形狀）

測針半徑

0．025mmR

測量力

30mN以下

測量進給方向

拉·推·兩方向

測量姿勢

上·下、兩方向

計算處理功能

點、直線、圓、部分圓、橢圓、距離、坐標差、坐標差、直交/坐標差顯示、交叉要素（點-直線、直線-直線、圓-直線、圓-圓、直線-橢圓）、對稱要素（點-點、點-圓、點-橢圓、直線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓-橢圓）、坐標控制（原點設定、X軸設定、平行移動、回轉移動）、面積計算Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結果與設計值比對、鏡面反轉、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復功能、工件軌跡功能、搜尋功能、自動操作記錄·回放功能、形狀、設計值比對、擬合功能、設計值生成、IGES/DXF轉換功能

各要素

電源

單相AC100V±10% 50/60Hz

耗電量

380VA

設置尺寸

1850（W）*800（D）*750（H）mm

質量

150kg